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接近开关是利用位移传感器对接近物体的（），从而达到控制（）的目的，在气动控制中常用的接近开关有（）、（）和（）三种。
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应用微机电系统技术，已经成功地研制出很多的（）电子元器件和新型的传感器，如压力传感器、加速度传感器、红外传感器、气体传感器、流量传感器、离子传感器、辐射传感器、化学传感器、谐振传感器等。
A、纳米级
B、微米级
C、毫米级
D、厘米级